PI膠固化爐的核心工作原理是通過精準(zhǔn)的多段式溫控加熱，完成聚酰亞胺膠的溶劑脫除與亞胺化交聯(lián)反應(yīng)，最終形成高性能的聚酰亞胺絕緣薄膜，具體過程如下：
一、基礎(chǔ)加熱與環(huán)境構(gòu)建
設(shè)備腔體通過熱風(fēng)循環(huán)、紅外輻射或熱板接觸式加熱，在密閉潔凈空間內(nèi)形成均勻穩(wěn)定的高溫場。
部分機(jī)型可同步構(gòu)建氮?dú)舛栊员Ｗo(hù)氛圍或低真空環(huán)境，避免PI膠在高溫下氧化黃變，同時(shí)輔助脫除膠層內(nèi)殘留的微量氣泡。
整機(jī)搭載高精度溫控系統(tǒng)，控溫精度可達(dá)±0.5℃，腔體內(nèi)部溫度均勻性控制在±1~±3℃，保障整批工件固化狀態(tài)一致。
二、分階段固化反應(yīng)流程
低溫排膠階段(80~150℃)：緩慢升溫，讓PI膠中的NMP等有機(jī)溶劑平穩(wěn)揮發(fā)，避免溶劑快速沸騰導(dǎo)致膠層出現(xiàn)針孔、氣泡或流平不均的問題。
中溫預(yù)固化階段(150~250℃)：逐步升溫，讓PI膠分子初步發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，膠層從液態(tài)轉(zhuǎn)為半固態(tài)，初步定型，避免后續(xù)高溫階段出現(xiàn)膠層流淌變形。
高溫亞胺化階段(250~450℃)：維持預(yù)設(shè)高溫區(qū)間，讓聚酰胺酸分子完成亞胺化閉環(huán)反應(yīng)，分子鏈充分交聯(lián)，最終形成致密、低內(nèi)應(yīng)力的高性能聚酰亞胺薄膜。
三、配套輔助機(jī)制
熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)持續(xù)帶動腔體內(nèi)空氣流動，及時(shí)排出固化過程中揮發(fā)的有機(jī)溶劑與反應(yīng)副產(chǎn)物，避免腔體內(nèi)部溶劑濃度過高影響固化效果。
可編程溫控系統(tǒng)可自定義多段升溫、保溫、降溫曲線，適配不同配方PI膠的固化工藝要求，避免快速升降溫導(dǎo)致薄膜產(chǎn)生過大內(nèi)應(yīng)力而開裂。
部分帶壓合功能的機(jī)型可在固化過程中對膠層施加微壓，進(jìn)一步提升薄膜的表面平整度，適配柔性顯示、半導(dǎo)體晶圓等高要求制程。
地址：常州市新北區(qū)樂山路26號2號樓
郵箱：tangyy2010@126.com
傳真：
